标准号：T/CI 961-2025
标准名称：半导体设备用碳化硅陶瓷零部件
团体名称：中国国际科技促进会
发布日期：2025年04月15日
实施日期：2025年04月15日
本文件规定了半导体设备用碳化硅陶瓷零部件的术语和定义、产品结构和分类、生产工艺、技术要求、试验方法、检验规则和应用。
起草单位：宁波伏尔肯科技股份有限公司、山田新材料集团有限公司、绍兴晶彩科技有限公司、广西三元华鑫特种陶瓷有限公司、江苏晶孚新材料科技有限公司。
起草人：徐斌、徐勤龙、李季、陈诚、宋宝山、沈赟、马坤、罗统斌、薛振坤、袁洪峰。