T/CIE 117-2021 MEMS器件机械冲击试验方法

T/CIE 117-2021 MEMS器件机械冲击试验方法

适用范围：本文件规定了MEMS器件在不加电、加电状态下的机械冲击试验方法的技术要求、试验程序和检验评价规则等。 本文件适用于MEMS器件的研制、生产和产品鉴定验收等阶段，目的在于评估MEMS器件在装卸、运输和使用环境中，由于瞬时受力或者运动状态突然发生变化而产生瞬间机械冲击时的抗冲击能力。适用的机械冲击脉冲宽度范围为0.05 ms~30 ms，峰值加速度范围为5g~30 000g。