标准号：T/CSCP 0059.4-2025
标准名称：微机电系统（MEMS）材料腐蚀芯片与传感器 第4部分：元器件选型及测试
团体名称：中国腐蚀与防护学会
发布日期：2025年09月01日
实施日期：2025年10月01日
标准规定了MEMS材料腐蚀芯片及传感器的元器件部分的技术要求、测试方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存规范。适用于由金属、半导体、聚合物等多种材质构成的MEMS材料腐蚀芯片及传感器元器件，涵盖设计、生产、检测及应用全流程。旨在为该类元器件提供统一的质量控制与性能评估准则，确保其在工业生产过程监测、环境腐蚀性检测等应用领域中具备可靠的性能、优异的兼容性和良好的互换性，从而为MEMS材料腐蚀芯片及传感器整体性能的稳定与精准检测提供坚实基础。
起草单位：北京科技大学、中国电力科学研究院有限公司、南方电网科学研究院有限公司、广州天韵达新材料科技有限公司、北京材料基因工程高精尖创新中心、广州市南沙区贝科耐蚀新材料研究院、中国铁道科学研究院集团有限公司
起草人：杨小佳、李晓刚、程学群、郝文魁、黄路遥、张强、卢壹梁、黄增浩、陈云、孙雷、李清、徐迪、朱仁政、廖永力、杨国威、张达威、刘超、杨体绍、杨吉可、杜翠薇、刘智勇、张博威、骆鸿、韩钰、马宏驰