标准号：T/DZJN 522-2026
标准名称：半导体设备用石英材料零部件精密机械加工工艺技术规范
团体名称：中国电子节能技术协会
发布日期：2026-03-19
实施日期：2026-03-19
主要内容：石英制品加工
起草人：-
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