标准号：T/CSCP 0059.1-2025
标准名称：微机电系统（MEMS）材料腐蚀芯片与传感器 第1部分：通用要求
团体名称：中国腐蚀与防护学会
发布日期：2025年09月01日
实施日期：2025年10月01日
标准主要对MEMS材料腐蚀芯片及传感器的通用性设计进行规定，包括MEMS材料腐蚀芯片及传感器的工作原理、MEMS材料腐蚀芯片及传感器的分类、MEMS材料腐蚀芯片及传感器的工艺过程、MEMS材料腐蚀芯片及传感器的测试、MEMS材料腐蚀芯片及传感器的接口标准等。
起草单位：北京科技大学、中国电力科学研究院有限公司、南方电网科学研究院有限公司、广州天韵达新材料科技有限公司、北京材料基因工程高精尖创新中心、广州市南沙区贝科耐蚀新材料研究院、中国铁道科学研究院集团有限公司
起草人：杨小佳、李晓刚、程学群、张强、卢壹梁、黄增浩、黄路遥、郝文魁、陈云、孙雷、李清、徐迪、朱仁政、杨国威、张达威、刘超、杨体绍、杨吉可、杜翠薇、刘智勇、张博威、骆鸿、马宏驰、王晓芳、杨丙坤、韩钰