T/CASAS 068-2026 碳化硅晶片制造用各向同性多孔石墨

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标准号：T/CASAS 068-2026

标准名称：碳化硅晶片制造用各向同性多孔石墨

团体名称：北京第三代半导体产业技术创新战略联盟

发布日期：2026-05-06

实施日期：2026-05-06

主要内容：本文件规定了碳化硅晶片制造用各向同性多孔石墨的技术要求、试验方法、检验规则、标识、包装、运输和贮存等。本文件适用于纯度要求达到5 N 5（质量分数99.9995 %）以上的碳化硅单晶生长及外延用各向同性多孔石墨材料，以及用该材料制作的多孔石墨构件等。

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