标准号：GB/T 47082-2026
标准名称：碳化硅单晶抛光片堆垛层错测试方法
发布日期：2026-01-28
实施日期：2026-08-01
GB/T 47082-2026由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准委。
适用范围：本文件描述了碳化硅(SiC)单晶抛光片堆垛层错的光致发光测试方法。 本文件适用于4H碳化硅(4H-SiC)单晶抛光片堆垛层错的测试。
标准号：GB/T 47082-2026
标准名称：碳化硅单晶抛光片堆垛层错测试方法
发布日期：2026-01-28
实施日期：2026-08-01
GB/T 47082-2026由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准委。
适用范围：本文件描述了碳化硅(SiC)单晶抛光片堆垛层错的光致发光测试方法。 本文件适用于4H碳化硅(4H-SiC)单晶抛光片堆垛层错的测试。